? 超安靜運(yùn)動， 20 kHz驅(qū)動頻率
? 65 mm × 65 mm × 12 mm極緊湊外形設(shè)計
? 閉環(huán)控制 · 位置傳感?持電阻型(.R) 和光學(xué)型(.O

產(chǎn)品型號：LS65x.Lab.O / .R (閉環(huán))

更新時間：2025-04-02

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品分類Product Categories

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壓電 · 線性位移臺— LS65x.Lab.O / .R (閉環(huán))

室溫 ·壓電運(yùn)動解決?案 —“.Lab 系列“ 良好封裝的位移臺

外形緊湊，動?性能不折扣的壓電線性臺；同時保證優(yōu)質(zhì)的價格空間。

壓電 · 線性位移臺— LS65x.Lab.O / .R (閉環(huán))產(chǎn)品特?

• 超安靜運(yùn)動， 20 kHz驅(qū)動頻率

• 65 mm × 65 mm × 12 mm極緊湊外形設(shè)計

• 閉環(huán)控制 · 位置傳感?持電阻型(.R) 和光學(xué)型(.O)

• ?精度 · 空間傳感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可選

• 經(jīng)濟(jì)型 · 空間傳感分辨率(.R) 100-200nm

• 最?步伐優(yōu)于 10 nm

• 可提供多軸堆疊安裝轉(zhuǎn)接件

• 控制器兼容旋轉(zhuǎn)臺，搖擺臺

• ?持?磁( .NM)、?真空( .HV)和超?真空 ( .UHV)選件

2D ·尺?圖

LS65x.Lab.O / .R 壓電線性臺 — 技術(shù)參數(shù)

可選版本 ?		正常版本	.NM	.HV	.UHV
.NM 絕對?磁版本； .HV， ?真空版本 ; .UHV ，超?真空版本；
1 底?尺?*?度		65 × 65 mm × 12 mm
2 主體材料		不銹鋼	純鈦	不銹鋼	不銹鋼
3 線纜 & 接頭		標(biāo)準(zhǔn)屏蔽線纜 DSub9 接頭		kapton漆包線， PEEK-2mm插針
運(yùn)動參數(shù)-空間推薦安裝形式 I. (下列性質(zhì)均在推薦安裝形式下測得)
4 運(yùn)動?程		30 mm
5 最?速度		~ 20 mm/s
6 最?步伐		~ 10 nm
7 驅(qū)動頻率		Max. 20 kHz (超安靜運(yùn)動)
8 最??平推?		2 N
9 保持?		5 N
		0.3 mrad / 0.2 mrad
10 全?程俯仰/偏擺
運(yùn)動參數(shù)-空間推薦安裝形式 II. (下列性質(zhì)均在推薦安裝形式下測得)
11	最?垂直負(fù)載	2 N
12	保持?	5 N
傳感精度
13 位置傳感類型		- 電阻型傳感( .R ) - 光柵尺傳感( .O )
14 位置傳感量程		30 mm
15 位置傳感分辨率		- 電阻型傳感( .R )， 100-200 nm - 光柵尺傳感( .O )， 10 nm， 1nm可選(默認(rèn) 10nm)